Oktafluorcyklobutan har stabila kemiska egenskaper, giftfritt och ofarligt, lågt värde för global uppvärmningspotential (GWP) och nollvärde för ozonnedbrytningsindex (ODP). Det är en grön och miljövänlig specialgas. På grund av dessa goda egenskaper har oktafluorcyklobutan använts flitigt inom tekniska områden som högspänningsisolering, rengöring och etsning samt plasmabehandling de senaste åren.
Oktafluorcyklobutan kan framställas genom dimerisering av tetrafluoreten genom pyrolys, släckning, filtrering, kompression, etc; Oktafluorcyklobutan kan också erhållas genom elektrolys av tetrafluorcyklobutan i vattenfri Hydrering fluorid. Att kontakta rå oktafluorcyklobutan innehållande föroreningar med ett föroreningssönderdelningsmedel vid en hög temperatur och sedan kontakta ett adsorbent kan väsentligen avlägsna föroreningar såsom fluorkolväten och erhålla oktafluorcyklobutan med hög renhet.
| Gas | Oktafluorcyklobutan |
| CAS nr | 115-25-3 |
| Renhet | ≥ 99.9% |
Oktafluorcyklobutan används också i stor utsträckning i halvledaretsningsytor. Som en plasmaetsningsgas av högre nivå av fluorkolväten kan den användas i kombination med fluorkolväten på lägre nivå, såsom monofluormetan och difluormetan, vilket avsevärt kan förbättra etsningseffekten.
Oktafluorcyklobutan har ett lågt GWP-värde (8900, endast 37 % av SF6), och nedbrytningsprodukterna under inverkan av ljusbågar är fluorkolväten, som är icke-toxiska eller lågtoxiska ämnen, och har en viss isolerande ljusbågsläckningsförmåga.
Enligt de kemiska egenskaperna hos oktafluorcyklobutan kan den också användas som huvudråvara för andra kemiska produkter.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Med ensamrätt. - Integritetspolicy|Regler och villkor|Blogg
EN 
AR
DE
ES
FR
FA
HI
JA
PT
RU
TR
UR
